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洁净厌氧高温气氛炉

产品特点:洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
最高工作温度360℃和500℃。
采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。

更新时间:2021-08-20

产品型号:DTN430C/630C/450C/650C

厂商性质:代理商

生产地址:

产品详情
洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
  • 最高工作温度360℃和500℃。

  • 采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。

  • 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。

  • 磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

  • 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。

  • 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。

安全性
  • 门检测开关

  • 温度过升防止器

  • 氧浓度异常安全装置

  • 氮气压力检测

  • 氮气流量检测

  • 冷却水流量检测

  • 漏水传感器

  • 过电流漏电漏电保护开关

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